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分析真空度測(cè)試儀的檢�(cè)原理

分析真空度測(cè)試儀的檢�(cè)原理

 

真空度測(cè)試儀采用磁控放電法�(jìn)行測(cè)量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離,施加電�(chǎng)脈沖高壓,將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)�?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè),向線圈通以大電�,從而在滅弧室內(nèi)�(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁�(chǎng)。這樣,在脈沖�(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)�(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電�,所�(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例�(guān)系�

 

�(duì)于不同的真空管型�(hào)(管型),由于其�(jié)�(gòu)不同,在同等觸頭開距、同等真空度、同等電�(chǎng)與磁�(chǎng)的條件下,離子電流的大小也不相同。通過(guò)�(shí)�(yàn)可以�(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)�(yīng)�(guān)系曲�。當(dāng)�(cè)知離子電流后,就可以通過(guò)查詢?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度�

 

在常�(guī)磁控放電�(cè)試滅弧室的真空度�(shí),為了提高其�(cè)試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線管線管內(nèi)。這樣一�(lái),滅弧室在重新裝�?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參�(shù),工作量很大并需專業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從�(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微�(jī)�(jìn)行同步控制與�(shù)�(jù)采集處理,提高了滅弧室真空度的現(xiàn)�(chǎng)�(cè)試靈敏度�

 

真空度測(cè)試儀儀將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距,施加脈沖高�,將電磁線圈�(huán)繞于滅弧室的外側(cè),向線圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)�(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁�(chǎng),這樣在脈沖磁�(chǎng)的作用下,滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)�(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電�,所�(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例�(guān)�。對(duì)于不同的真空�,在同等真空度條件下,離子電流的大小也不相同,當(dāng)�(cè)知離子電流后,通過(guò)離子電流一真空度曲�,由�(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的�(jì)�,并顯示真空度��

 


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